電子特種氣體是以氣態(tài)形式存在于電子產(chǎn)品制造過程的特殊材料,之所以稱之為“特殊”,因為它們要求超純超凈,而且大部分有毒腐或者易燃等性質(zhì)。對雜質(zhì)的要求,氣體圈子任路先生這樣說道,1個PPB的SPEC要求,相當(dāng)于對雜質(zhì)的要求是體積為120m i *90m*30m的3個足球場的空間內(nèi)不允許出現(xiàn)一個shai子(1cm長寬高的)雜質(zhì)!

特種氣體興起于60年代中期,特種氣體廠家,作為基礎(chǔ)化工材料,特種氣體出售,主要運用于大型石油化工、半導(dǎo)體器件、光導(dǎo)纖維、激光、醫(yī)1學(xué)科學(xué)、臨床診斷、醫(yī)1藥消毒、水果催熟、食品保鮮等領(lǐng)域。隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展,其應(yīng)用范圍也越來越廣泛。在國民經(jīng)濟高速發(fā)展及下游1行業(yè)的強勁需求下,我國特種氣體行業(yè)在2006年后進入快速發(fā)展階段,年均增速達到17%以上。2011年,國內(nèi)特種氣體行業(yè)產(chǎn)值規(guī)模為296.88億元,特種氣體廠,較上年增長22.15%;銷售收入為297.52億元,武漢特種氣體,較上年增長21.64%。

氣瓶柜 gas cabinet (GC)
特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備,一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。
氣瓶架 gas rack (GR)
特種氣體使用的開放式氣瓶放置與管理設(shè)備,一般應(yīng)配置減壓裝置、吹掃裝置、氣體終端過濾器、緊急切斷閥、壓力監(jiān)測及報警等安全設(shè)施。氣瓶架有手動、半自動、全自動三類。

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